三坐标仪器校验前准备的工具： 行业常用的步距规和块规。

仪器校验公式：校验公式也就是精度公式，一般有两个：单轴精度公式和空间精度公式。

常数+系数X测量长度/1000 （如：1.9+4X测量长度/1000）注：测量长度单位为：mm, 检验公式(精度公式)按每个厂家每种机器厂家确认，格式基本一样但要求不一样。所以价格也不一样。

进行三坐标的仪器校验步骤：

1、先仪器检测三个单轴Ｘ、Ｙ、Ｚ的精度。

把仪器校验工具摆放在大理石（工作台）的中央，摆正使其和X轴运行导轨方向平行。锁定Y轴。然后测量步距规或块规，看测量出来的结果是否和所测步距规或块规长度相当。同理，检验Y轴、Z轴精度。

2、三个面的对角精度ＸＹ、ＸＺ、ＹＺ每个面有两个共６个。

3、三坐标测量机三轴和量程范围构成的立方体的4条对角线的精度，共4个方向。

以上一起共13个方向。且每个方向都有一个量程要求以及间隔要求。

测量后精度在检验公式范围内，则仪器校准结果为合格，否则要把机器的精度补正。